Keithley 4200A-SCS parametrický analyzátor

Přehled

Keithley 4200A-SCS je komplexní systém analyzátoru parametrů určený pro charakterizaci polovodičových zařízení, kombinující měření DC I-V, kapacitance-napětí (C-V) a ultra-rychlého pulsního I-V ve jediné platformě. Systém se integruje s automatizovanými sondami na waferech a kryogenními kontroléry teploty pro kompletní pracovní postupy testování zařízení v aplikacích výzkumu, spolehlivosti a vývoje zařízení.

Klíčové vlastnosti

• Synchronizované měření DC I-V, C-V a pulsního I-V v jednom systému
• Modul kapacitance 4215-CVU se zdrojem AC 1 V, rozsah frekvence 1 kHz až 10 MHz, rozlišení v jednotkách femtofarad
• 4200A-CVIV Multi-Switch pro automatické přepínání kanálů bez přepojování nebo zdvihání sondy
• Modulární architektura SMU (jednotka měřicího zdroje) s až 9 kanály pro měření nízkého proudu až femtoampy
• Platforma softwaru Clarius se stovkami předem vytvořených testů aplikací a extrakcí parametrů v reálném čase
• Moduly s možností instalace v poli a volitelné zesilovače pro flexibilitu měření
• Úplná integrace se systémy MPI, Cascade Microtech a dalšími sondami na waferech

Aplikace

• Extrakce parametrů polovodičového zařízení a analýza poruch
• Charakterizace zařízení na úrovni wafer a balené zařízení
• Vývoj procesu a studium zlepšení výnosu
• Charakterizace materiálu a testování spolehlivosti
• Testování zařízení a analýza při kryogenní teplotě